经客户严格测试验证，核芯光电科技（山东）有限公司自主研发的BSE探测器（BSD）在上升时间、信噪比等关键性能指标上达到国际同类产品水平，已可实现国产替代。

探测器分为四个独立象限，每个象限可独立探测背散射电子信号。探测器中心有孔，允许电子束通过，适合需要同时进行二次电子和背散射电子检测的应用。背散射电子从样品表面反射后被四个象限分别探测。设备通过分析各象限的信号差异，获得样品的成分和形貌信息。

BSE探测器主要应用于扫描电子显微镜（SEM）和电子束缺陷检测设备（EBI）。

在SEM中，BSE探测器作为其“眼睛”通常安装在物镜极靴下方，以光轴为中心。入射电子束扫描试样表面时会产生BSE，其产生量受样品的形貌、物理和物相的平均原子序数特性控制。BSE的能量比SE高，且来源比SE的范围更深，因此可以提供样品次表面以下的信息。

EBI设备源自于SEM，其工作原理同样基于电子束与物质相互作用产生的二次电子（主要）/背散射电子效应，这些二次电子/背散射电子的数量和能量分布与材料表面的物理和化学性质密切相关，特别是与表面的缺陷情况有关。通过收集和分析这些二次电子/背散射电子，可以构建出待测元件表面的电压反差影像，从而实现对缺陷的检测。

这两类设备均广泛应用于科学和工程领域，诸如材料科学、生物科学、地质学、医学科学、法医学、半导体无损检测等，拥有极高分辨率和灵敏度。并且，该类检测无须破坏待检样品内部结构。